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以精準檢測賦能第四代半導體氧化鎵材料革新

2025年3月5日,杭州鎵仁半導體有限公司宣布全球首顆8英寸氧化鎵單晶襯底成功問世,標志著中國半導體產業在第四代材料領域實現跨越式突破。作為鎵仁半導體的核心合作伙伴,?光谷薄膜憑借自主研發的霍爾效應測試儀,為其氧化鎵單晶產品提供了第三方檢測支持,以高精度、多維度的電學性能數據驗證了材料的產業化潛力?。

 圖片1以精準檢測賦能第四代半導體氧化鎵材料革新

針對8英寸氧化鎵單晶襯底的導電型與UID兩種晶體,光谷薄膜霍爾效應測試儀通過范德堡法同步測定了電阻率、載流子濃度等關鍵參數:

 

導電型晶體?:電阻率低至25mΩ·cm,載流子濃度達2.9×101? cm?1;

UID晶體?:電阻率高達664mΩ·cm,載流子濃度僅6.9×101? cm?1?。

 圖片2光谷薄膜為鎵仁半導體氧化鎵單晶襯底出具的檢測報告

光谷薄膜為鎵仁半導體氧化鎵單晶襯底出具的檢測報告

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氧化鎵作為超寬禁帶半導體,其電學性能的穩定性直接影響器件可靠性。光谷薄膜霍爾效應測試通過以下應用場景為產業升級提供支撐:

 

材料篩選?:鑒別N/P型導電類型,評估晶體缺陷與摻雜均勻性?;

工藝監控?:實時反饋電阻率分布,指導單晶生長參數調整?;

器件設計?:提供遷移率與載流子濃度關聯數據,縮短芯片研發周期;

合作共贏:推動國產半導體生態建設。?

 鎵仁半導體8英寸氧化鎵單晶的突破

鎵仁半導體8英寸氧化鎵單晶的突破,不僅刷新了全球技術紀錄,更驗證了國產檢測設備的國際競爭力。光谷薄膜憑借在GaN、SiC等寬禁帶材料領域的成熟經驗,持續為氧化鎵等第四代半導體產業化提供“中國方案”,助力構建從材料、設備到芯片的完整產業鏈?。

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